HORIBA質(zhì)量流量計是一種精確測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準(zhǔn)，不需要溫度壓力補償。它主要是用來測量介質(zhì)的質(zhì)量流量及總量、密度，同時，它還可以測量體積流量及總量、介質(zhì)溫度、含水率、酒精的酒精度、混合較均勻的兩種液體的濃度、工藝流程中的原料配比等。
體積流量：也叫工況流量，即單位時間內(nèi)實時溫度和壓力下流體流過管道橫截面的體積。小流量的代表單位一般為：ml/min和L/min。
標(biāo)況流量：通過溫度、壓力補償后得到的體積流量。標(biāo)況一般定義（1）壓力：1個大氣壓（101.325KPa）（2）溫度：0℃/15℃/20℃/25℃，具體溫度定義可自選。易度流量控制器默認(25℃,101.325KPa)，單位一般為：SCCM和SLPM。
質(zhì)量流量：單位時間內(nèi)流體流過管道橫截面的質(zhì)量。易度質(zhì)量流量控制器測量出的是標(biāo)況流量，需要計算氣體實際質(zhì)量時，可用密度乘以標(biāo)況流量即可得出。
瞬時流量：當(dāng)時間很短時，流體流過一定截面的量稱為瞬時流量。
累計流量：氣體通過某一截面的瞬時流量在一定時間內(nèi)的累積值。
設(shè)定流量：質(zhì)量流量控制器專用術(shù)語，MFC通過控制比例調(diào)節(jié)閥的開度使得流體流量穩(wěn)定在某一固定流量值，設(shè)定流量一般為標(biāo)況流量。
